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      CGO系列高低温真空探针台可满足6 英寸样品测试,高真空结构可避免低温结霜、高温氧化等情况,保证测试准确性。可用于晶圆测试、 LED 测试、功率器件测试、光电测试、场晶体效应管测试等不同产品和应用场景,亦可升级做射频测试。

      名称:CGO高低温真空探针台
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      CGO系列高低温真空

      探针台

       

      高低温真空探针台.png

       产品介绍

      高低温真空探针台.png

       1.1 功能介绍

       

      CGO系列高低温真空探针台可满足6 英寸样品测试,高真空结构可避免低温结霜、高温氧化等情况,保证测试准确性。可用于晶圆测试、 LED 测试、功率器件测试、光电测试、场晶体效应管测试等不同产品和应用场景,亦可升级做射频测试。

       

      1.2 技术参数

       

      型号

      基本参数

      CGO-2CGO-4CGO-6
      腔体样品台尺寸

      2英寸

      4英寸

      6英寸

      样品固定

      弹簧压片

      观察窗口

      2英寸

      4英寸

      6英寸

      真空度

      10-5torr

      探针臂接口

      最多4个探针臂接口

      最多6个探针臂接口

      其他接口

      电信接口、真空接口、光纤接口、冷源接口

      温控系统

      制冷方式

      液氮/液氣/制冷机

      温度范围

      77K  573K/4.5K  573K

      温控精度

      0.1K/0.01K/0.001K

      稳定性

      ±1K/±0.1K/±0.01K

      显微镜

      显微镜类型

      单筒显微镜/体式显微镜/金相显微镜

      放大倍率

      16X-200X/20X-4000X

      移动行程

      水平360度旋转,Z轴行程50.8mm

      光源

      外置LED环形光源/同轴光源

      CCD

      200万像素/500万像素/1200万像素

      探针臂

      X-Y-Z移动行程

      50mm*50mm*50mm

      结构

      外置探针臂,真空波纹管结构

      移动精度

      10微米/I微米

      探针夹具

      线缆

      同轴线/三轴线/射频线

      漏电精度

      10pA/100fA/10fA

      固定探针

      弹簧固定/管状固定

      接头类型

      BNC/三轴/香蕉头/鳄鱼夹/接线端子

      探针

      频率支持

      DC-110GHz

      针尖直径

      0.2微米/I微米/2微米/5微米/10微米/20微米

      材质

      钨钢/铍铜

      真空组件

      分子泵组/机械泵/离子泵

      冷源组件

      50L/100L液氮罐/液氮罐/制冷机

      外形

      880mm *880mm *600mm 

      980mm *980mm *600mm 

      重量

      100千克

      120千克

      可选附件

      超高温配件

      屏蔽箱

      高压测试配件

      显示器

      光学平台

      分子泵组

      转接头

      镀金卡盘

      激光系统

      射频测试配件

      光电测试配件

      气敏测试配件

      根据客户要求定制



      应用案例:


      北京师范大学CGO探针台.png华为OCG高低温探针台.png南科大CGO高低温真空探针台.png
      中国石油大学CGO高低温真空探针台.png西南交通大学OCG高低温真空探针台.png南方科技大学OCG高低温真空探针台.png