客服热线:18680281884

              Cloud Zoom small image
              CGO系列高低温真空探针台可满足6 英寸样品测试,高真空结构可避免低温结霜、高温氧化等情况,保证测试准确性。可用于晶圆测试、 LED 测试、功率器件测试、光电测试、场晶体效应管测试等不同产品和应用场景,亦可升级做射频测试。

              名称:CGO高低温真空探针台
              可在线通过咨询了解详情
               
              通过以下按钮进入下一步
              • 详情
              • 评价

              CGO系列高低温真空

              探针台

               

              高低温真空探针台.png

               产品介绍

              高低温真空探针台.png

               1.1 功能介绍

               

              CGO系列高低温真空探针台可满足6 英寸样品测试,高真空结构可避免低温结霜、高温氧化等情况,保证测试准确性。可用于晶圆测试、 LED 测试、功率器件测试、光电测试、场晶体效应管测试等不同产品和应用场景,亦可升级做射频测试。

               

              1.2 技术参数

               

              型号

              基本参数

              CGO-2CGO-4CGO-6
              腔体样品台尺寸

              2英寸

              4英寸

              6英寸

              样品固定

              弹簧压片

              观察窗口

              2英寸

              4英寸

              6英寸

              真空度

              10-5torr

              探针臂接口

              最多4个探针臂接口

              最多6个探针臂接口

              其他接口

              电信接口、真空接口、光纤接口、冷源接口

              温控系统

              制冷方式

              液氮/液氣/制冷机

              温度范围

              77K  573K/4.5K  573K

              温控精度

              0.1K/0.01K/0.001K

              稳定性

              ±1K/±0.1K/±0.01K

              显微镜

              显微镜类型

              单筒显微镜/体式显微镜/金相显微镜

              放大倍率

              16X-200X/20X-4000X

              移动行程

              水平360度旋转,Z轴行程50.8mm

              光源

              外置LED环形光源/同轴光源

              CCD

              200万像素/500万像素/1200万像素

              探针臂

              X-Y-Z移动行程

              50mm*50mm*50mm

              结构

              外置探针臂,真空波纹管结构

              移动精度

              10微米/I微米

              探针夹具

              线缆

              同轴线/三轴线/射频线

              漏电精度

              10pA/100fA/10fA

              固定探针

              弹簧固定/管状固定

              接头类型

              BNC/三轴/香蕉头/鳄鱼夹/接线端子

              探针

              频率支持

              DC-110GHz

              针尖直径

              0.2微米/I微米/2微米/5微米/10微米/20微米

              材质

              钨钢/铍铜

              真空组件

              分子泵组/机械泵/离子泵

              冷源组件

              50L/100L液氮罐/液氮罐/制冷机

              外形

              880mm *880mm *600mm 

              980mm *980mm *600mm 

              重量

              100千克

              120千克

              可选附件

              超高温配件

              屏蔽箱

              高压测试配件

              显示器

              光学平台

              分子泵组

              转接头

              镀金卡盘

              激光系统

              射频测试配件

              光电测试配件

              气敏测试配件

              根据客户要求定制



              应用案例:


              北京师范大学CGO探针台.png华为OCG高低温探针台.png南科大CGO高低温真空探针台.png
              中国石油大学CGO高低温真空探针台.png西南交通大学OCG高低温真空探针台.png南方科技大学OCG高低温真空探针台.png
              彩票中奖图