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              To One气浮隔振光学平台(科研级)

              适合于高倍数电子显微镜、扫描探针显微镜、激光干涉仪、激光共聚焦显微镜等领域应用

              名称:To One气浮隔震光学平台
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              To One气浮隔震光学平台


              To One气浮隔震光学平台.png

               

               

              ZI-QF 科研气浮隔振光学平台(科研级)

              应用领域: 

              适合于高倍数电子显微镜、扫描探针显微镜、激光干涉仪、激光共聚焦显微镜等领域应用

               

              产品特点: 

              公司依托于航空工业人员背景研发制造的具有负载能力强、刚性强、稳定性高、隔振效果好的科研级气浮隔振光学平台。 

              优异的隔振性能:内置精密空气弹簧隔振系统,具备优秀的固有频率,对多个方向的振动特别是垂直方向有着良好衰减效果,避免外界振动干扰设备仪器精度,提高仪器设备使用精度和使用效率。 

              自动调节水平功能:放置负载的位置发生变化,平台迅速通过高精度阀门自动调整空气弹簧内部的气压,自动保持水平。气动元器件全部执行德国 FESTO 产品,标配进口无油压缩机。 

              台板采用蜂窝芯夹板结构,具有重量轻、高刚度、高阻尼等优点,上面板为 1cr17 优质高导磁不锈钢,经精密研磨处理,平面度高,回旋打磨工艺清除毛边,达到无反射、亚光效果, 面板具有M6螺纹孔阵列,易于固定光学元件。 

              隔振支撑为优质钢管焊接而成,整体坚固稳定。 

              工作压力为 0.35~0.6Mpa,标准配置调压过滤阀将保证空气弹簧的长期有效工作,用户只需要将气管连接进气口,就能使装置正常发挥隔振功能,气源可通过小型空气压缩机或氮气瓶供给,便于在安静场合使用。


              技术指标

              平面度:< 0.05mm/m2

              ◆M6螺纹孔/孔间距 25X25mm
              表面粗糙度:< 0.8μm
              固有频率:X方向:1.0Hz~1.5HzY方向:1.0Hz~1.5Hz
              减振效率:X方向< 5Hz :88%~94% Y方向<5Hz :86%~92%

                          X方向<10Hz:92%~98% Y方向<10Hz:90%~95% 

              振幅:< 1μm 

              荷载能力:800kg/m2 

              重复定位精度:±0.05mm 

               

              产品型号:(可根据客户要求定制不同尺寸)

               

              型号

              规格(mm

              支撑数量

              面板厚度

              台面厚度

              螺纹孔/孔距

              ZI-QF-06-06

              600x600x800

              4

              6mm

              50mm

              M6/25X25mm

              ZI-QF-075-075

              750x750x800

              4

              6mm

              50mm

              M6/25X25mm

              ZI-QF-09-06

              900x600x800

              4

              6mm

              100mm

              M6/25X25mm

              ZI-QF-10-08

              1000x800x800

              4

              6mm

              100mm

              M6/25X25mm

              ZI-QF-12-08

              1200x800x800

              4

              6mm

              100mm

              M6/25X25mm

              ZI-QF-12-09

              1200x900x800

              4

              6mm

              100mm

              M6/25X25mm

              ZI-QF-15-09

              1500x900x800

              4

              6mm

              100mm

              M6/25X25mm

              ZI-QF-16-10

              1600x1000x800

              4

              8mm

              200mm

              M6/25X25mm

              ZI-QF-15-12

              1500x1200x800

              4

              8mm

              200mm

              M6/25X25mm

              ZI-QF-18-10

              1800x1000x800

              4

              8mm

              200mm

              M6/25X25mm

              ZI-QF-18-12

              1800x1200x800

              4

              8mm

              200mm

              M6/25X25mm

              ZI-QF-20-10

              2000x1000x800

              4

              8mm

              200mm

              M6/25X25mm

              ZI-QF-20-12

              2000x1200x800

              4

              8mm

              200mm

              M6/25X25mm

              ZI-QF-24-12

              2400x1200x800

              4

              8mm

              200mm

              M6/25X25mm

              ZI-QF-30-12

              3000x1200x800

              6

              8mm

              200mm

              M6/25X25mm

              ZI-QF-30-15

              3000x1500x800

              6

              8mm

              200mm

              M6/25X25mm

              ZI-QF-35-15

              3500x1500x800

              6

              8mm

              200mm

              M6/25X25mm

              ZI-QF-40-15

              4000x1500x800

              6

              8mm

              200mm

              M6/25X25mm

              ZI-QF-50-15

              5000x1500x800

              10

              10mm

              300mm

              M6/25X25mm

              ZI-QF-60-15

              6000x1500x800

              12

              10mm

              300mm

              M6/25X25mm

               

              实际安装案例:

              To One气浮隔震光学平台安装案例1.pngTo One气浮隔震光学平台安装案例2.pngTo One气浮隔震光学平台安装案例3.png


              至一科技主动主动隔震系统,桌上型主动隔震台,桌上型被动隔震台,桌上型气浮隔震台,被动减震器......

              广泛应用于电子显微镜、显微镜、半导体设备(光刻机、晶圆测试仪)、激光设备、原子力显微镜、干涉仪、轮廓仪等等

              ArisMD主动隔震系统安装案例.png
              图1:ArisMD主动隔震系统安装案例(主要应用于电子显微镜、半导体设备)
              ArisTT主动隔震台安装案例.png
              图2:ArisTT主动隔震台安装案例(主要应用于AFM、干涉仪、桌上型电镜)
              SotoTT被动隔震台安装案例.png
              图3:SotoTT被动隔震台安装案例(主要应用于显微镜、电子天平、激光设备、半导体测试测试设备)

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